序

說明

注

1 設備功 能

硬件功能：

1.1.1上料倉每個倉位離(lí)型紙(zhǐ)儲量≤120pcs,4個上料工(gōng)位，8個下(xià)料倉，料倉尺寸：210X210mm（±1mm）可循環上下(xià)料,爲後期自動化上下(xià)料預留空間和傳感器位置。上料倉有超限堆疊傳感器，防止過量堆放(fàng)；檢測爲NG的産品自動歸類到不同的料盒中(zhōng)，分(fēn)爲4個種類：一(yī)、 藍(lán)膜區異常；二、芯粒區域異常；三、标簽區異常；四、入庫NG。

1.1.2 配備入料端掃碼槍，來料隻識别膜号條碼，可讀一(yī)維二維條碼。

1.1.3 芯粒區定位及宏觀檢測相機，實現芯粒定位，确定起始和終止掃描位置，芯粒邊緣1CM外(wài)的外(wài)觀檢測；

1.1.4 相機光源防呆處理：光強檢測探頭，及時檢測光源是否衰減及亮度突然變化；

1.1.5 相機工(gōng)距調節使用電動調節，調節精度≤1um，平台移動過程Z軸自動修正斜率；

1.1.6 X/Y軸重複移動定位精度±2 μm

1.1.7檢測平台平整度需＜0.04°（産品檢測時區域高度差控制在15um内）；

1.1.8 運動機構配置減震平台，拍照檢測時不出現震動幹擾檢測。

1.1.9移動平台在X軸方向運動1次（根據實驗結果選擇光源決定）；

1.1.10 相機單獨安裝，與運動平台間隔振處理，減少平台運動過程中(zhōng)對相機震動幹擾；

1.1.11 運動平台減震處理；

1.1.12 運動平台具有負壓功能；

1.1.13 配備防靜電薄膜，離(lí)子風扇于上料倉位置。易産生(shēng)靜電的部分(fēn)做防靜電處理；

1.1.14 機台配備防油防塵裝置。

1.1.15芯粒區檢測相機：16K Line Scan Camera（1個）

2 機構

能力

基本功能

1.産品參數設定及儲存

2.手動 /自動入料掃描

3.XY Table 軟件控制面闆 軟件控制面闆

4.相機、光源設定與儲存

5.自動調檔

6.檢測文檔輸出

産品尺寸

可作業産品：邊長4.7mil-54mil

整圓定位

芯粒邊緣距離(lí)藍(lán)膜邊緣＜55mm；可根據産品設置卡控

文檔輸出

1.檢測結果圖輸出，保存日期大(dà)于6個月，可自定義删除舊(jiù)文檔

2.檢測後文檔.csv格式輸出

3.每片作業記錄輸出

4.機台報警記錄輸出

5.機台運行，停止，報警時間記錄輸出

6.檢測完成 .csv檔案輸出路徑需要兩條， 可做文檔備份，可自定義删除舊(jiù)文檔

标簽檢測

（一(yī)）、條碼&二維碼可識别
（二）、正貼；背貼；标簽上不能有明顯褶皺
（三）、标簽參數内容完整
（四）、字體(tǐ)無模糊不清晰
（五）、可檢正貼&背貼标簽

芯粒區檢測

（一(yī)）、排列歪斜

（二）、排列錯位

（三）、散晶

（四）、立晶

（五）、背鍍脫落

（六）、空料檢測标準可設置個數及空洞大(dà)小(xiǎo)，根據産品設置

（七）、檢測标準可根據産品設置卡控不同标準

（八）、背鍍髒污

（九）、斷晶

（十）、整行空行；稀疏空洞率

（十一(yī)）、标簽不可壓到芯粒

藍(lán)膜區域檢測

（一(yī)）、膜髒
（二）、膜破，可根據産品設置卡控标準